Радиоволновая эллипсометрия диэлектрических структур В. А. Конев, Н. В. Любецкий, С. А. Тиханович

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Конев В. А.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Минск Наука и техника 1989
Рубрика:
Ключевые слова:
LEADER 01228nam0a2200277 i 4500
001 E506788E-EB85-438A-87C6-CE874CBFC90D
010 |a 5-343-00059-2  |d р.1.20 
100 |a 20080724d1989 |||y0rusy02 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a ||||000zy 
200 1 |a Радиоволновая эллипсометрия диэлектрических структур  |f В. А. Конев, Н. В. Любецкий, С. А. Тиханович  |g АН БССР, Ин-т прикл. физики 
210 |a Минск  |c Наука и техника  |d 1989 
215 |a 132, [1]с.  |c ил.  |d 20 см 
320 |a Библиогр.: с. 129-131 (44 назв.) 
606 |a Диэлектрические измерения  |x Эллипсометрический метод 
606 |a Эллипсометрия радиоволновая 
686 |a 30.607  |2 rubbk 
686 |a 81  |2 rugasnti 
700 1 |a Конев  |b В. А.  |g Владимир Афанасьевич 
702 1 |a Любецкий  |b Н. В.  |g Николай Васильевич 
702 1 |a Тиханович  |b С. А.  |g Сергей Александрович 
801 0 |b ГПНТБ России  |a RU  |c 20080724