|
|
|
|
| LEADER |
01340nam0a2200277 i 4500 |
| 001 |
E8417103-B51A-4885-8121-D14B30B192A6 |
| 010 |
|
|
|a 5-256-00062-4
|d р.1.00
|
| 100 |
|
|
|a 20081025d1988 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы
|e [учеб. для сред. спец. учеб. заведений по спец. 0658 "Пр-во микроэлектрон. устройств"]
|f Ю. В. Панфилов, В. Т. Рябов, Ю. Б. Цветков
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1988
|
| 215 |
|
|
|a 320с.
|c ил.
|d 21 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 318 (13 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|x Оборудование
|
| 606 |
|
|
|a Роботы промышленные
|
| 686 |
|
|
|a 32.844.15
|a 32.816.2
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Панфилов
|b Ю. В.
|g Юрий Васильевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Рябов
|b В. Т.
|g Владимир Тимофеевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Цветков
|b Ю. Б.
|g Юрий Борисович
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20081025
|
