Тонкопленочная технология Р. Берри, П. Холл, М. Гаррис
Сохранить в:
| Автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | , |
| Тип документа: | Книга |
| Язык: | Russian English |
| Год издания: |
Москва Энергия 1972
|
| Рубрика: | |
| Ключевые слова: |
| LEADER | 01231nam0a2200313 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | EA9F9152-09BA-497A-8199-6F8464EEA525 | ||
| 010 | |d р.1.50 | ||
| 100 | |a 20120913d1972 m y0rusy02 | ||
| 101 | 1 | |a rus |c eng | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a a ||||000zy | ||
| 200 | 1 | |a Тонкопленочная технология |f Р. Берри, П. Холл, М. Гаррис |g пер. с англ. В. И. Генкина, Е. И. Гиваргизова | |
| 210 | |a Москва |c Энергия |d 1972 | ||
| 215 | |a 336с. |c ил. |d 21 см | ||
| 320 | |a Библиогр.: с. 329-335 | ||
| 454 | 0 | |1 7001 |a Berry Robert W. |1 7011 |a Hall Peter M. |1 7011 |a Harris Murray T. |1 2001 |a Thin film technology | |
| 606 | |a Пленки тонкие |x Получение | ||
| 606 | |a Микроэлектронные схемы интегральные |x Производство | ||
| 686 | |a 32 |2 rubbk | ||
| 686 | |a 47 |2 rugasnti | ||
| 700 | 1 | |a Берри |b Р. |g Роберт | |
| 701 | 1 | |a Холл |b П. | |
| 701 | 1 | |a Гаррис |b М. | |
| 702 | 1 | |a Генкин |b В. И. |4 730 | |
| 702 | 1 | |a Гиваргизов |b Е. И. |g Евгений Инвиевич |4 730 | |
| 801 | 0 | |b ГПНТБ России |a RU |c 20120913 | |