|
|
|
|
| LEADER |
01182nam0a2200265 i 4500 |
| 001 |
EE09EAEC-2D04-42A2-9BB3-7788F34ACA50 |
| 100 |
|
|
|a 20180609d1975 k y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Статическое электричество в полупроводниковой промышленности
|f В. А. Каверзнев, А. А. Зайцев, Ю. А. Овечкин
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Энергия
|d 1975
|
| 215 |
|
|
|a 113с.
|c ил.
|d 21 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиография: с. 110-112 (58 названий)
|
| 606 |
|
|
|a Электричество статическое в производствах
|
| 606 |
|
|
|a Полупроводниковые приборы
|x Электростатические свойства
|
| 686 |
|
|
|a 32
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Каверзнев
|b В. А.
|g Владимир Александрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Зайцев
|b А. А.
|g Анатолий Александрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Овечкин
|b Ю. А.
|g Юрий Алексеевич
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20180609
|
