Разработка методов формирования и защиты поверхности токопроводящих слоев для неразъемных соединений элементов микроэлектронных приборов
Сохранить в:
| Автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Тип документа: | Автореферат |
| Язык: | Russian |
| Год издания: |
2000
|
| Online-ссылка: | http://eanbur.unatlib.ru/handle/123456789/3589 |
| Ключевые слова: |