В пособии рассматриваются экспериментальные методы электронно-спектроскопических исследований неорганических материалов. Основное внимание уделено вопросам изучения процессов окисления поверхности твердых тел (преимущественно металлов) методами ультрафиолетовой и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, а также дифракции медленных электронов и спектроскопии характеристических потерь энергии электронами. Рассмотрены все стадии окисления, начиная с образования островков, где большую роль играет молекулярная и атомарная адсорбция, и кончая «толстыми» пленками окислов. Исследованы также термостимулированные изменения в поверхностных окисных слоях переходных металлов в вакууме, образование и восстановление окисных пленок на поверхности частиц мелких порошков и роль пор и трещин на окисленной поверхности при нанесении на нее покрытия и при разрушении. Описаны методики эксплуатации и модернизации электронных спектрометров и технологических приставок к ним. Предназначено для студентов, аспирантов, преподавателей физических, химических, приборостроительных факультетов и инженеров, занимающихся вопросами исследований и анализа поверхностей неорганических материалов.