|
|
|
|
| LEADER |
01037nam0a2200277 i 4500 |
| 001 |
060FC406-0C65-43C6-AF5F-11F1D8AF5ECF |
| 010 |
|
|
|a 5-02-007030-0
|d р.900.00
|
| 100 |
|
|
|a 19971103d1994 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Проблемы микроэлектронной технологии
|f Рос. акад. наук, Физ.-технол. ин-т
|g отв. ред. Великов Л. В.
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Наука
|d 1994
|
| 215 |
|
|
|a 97с.
|c ил.
|
| 225 |
2 |
|
|a Труды ФТИАН
|v Т. 8
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронная аппаратура
|x Производство
|
| 686 |
|
|
|a 32.844.1
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 702 |
|
1 |
|a Великов
|b Л. В.
|4 340
|
| 711 |
0 |
2 |
|a Физико-технологический институт
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Физико-технологический институт
|
| 801 |
|
0 |
|b НБУР
|a RU
|c 19971103
|
