Описание: Обработка монокристаллов в микроэлектронике

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Корбань В. И.
Другие авторы:	Борзаков Ю. И.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Москва Радио и связь 1988
Рубрика:	Обработка Производство
Ключевые слова:	Монокристаллы Обработка Микроэлектронные схемы Производство

5-256-00139-6