|
|
|
|
| LEADER |
01060nam0a2200277 i 4500 |
| 001 |
06B355B8-12BF-48E9-BCC6-FDBB5D3F5CDC |
| 010 |
|
|
|a 5-256-00139-6
|d р.0.40
|
| 100 |
|
|
|a 20081115d1988 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Обработка монокристаллов в микроэлектронике
|f В. И. Корбань, Ю. И. Борзаков
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1988
|
| 215 |
|
|
|a 103с.
|c ил.
|d 21 см
|
| 225 |
2 |
|
|a Массовая библиотека инженера "Электрон"
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 96-102 (148 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Монокристаллы
|x Обработка
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы
|x Производство
|
| 686 |
|
|
|a 32.844.1
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Корбань
|b В. И.
|g Валерий Иванович
|
| 701 |
|
1 |
|a Борзаков
|b Ю. И.
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20081115
|
