|
|
|
|
LEADER |
00933nam0a2200265 i 4500 |
001 |
0F581956-1618-4D9D-9EE0-25865A8872F1 |
010 |
|
|
|d р.0.25
|
100 |
|
|
|a 20160328d1982 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
|
|a rus
|
102 |
|
|
|a RU
|
105 |
|
|
|a a z 000#y
|
200 |
1 |
|
|a Магнетронные распылительные системы
|f Б. С. Данилин, В. К. Сырчин
|
210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1982
|
215 |
|
|
|a 73с.
|c ил.
|d 22 см
|
320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 69-72 (82 назв.)
|
606 |
|
|
|a Пленки тонкие
|x Получение
|
606 |
|
|
|a Распылители магнетронные
|
686 |
|
|
|a 22
|2 rubbk
|
686 |
|
|
|a 29
|2 rugasnti
|
700 |
|
1 |
|a Данилин
|b Б. С.
|g Борис Степанович
|
701 |
|
1 |
|a Сырчин
|b В. К.
|g Владимир Кимович
|
801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20160328
|