Магнетронные распылительные системы Б. С. Данилин, В. К. Сырчин

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Данилин Б. С.
Другие авторы: Сырчин В. К.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Москва Радио и связь 1982
Рубрика:
Ключевые слова:
LEADER 00933nam0a2200265 i 4500
001 0F581956-1618-4D9D-9EE0-25865A8872F1
010 |d р.0.25 
100 |a 20160328d1982 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 000#y 
200 1 |a Магнетронные распылительные системы  |f Б. С. Данилин, В. К. Сырчин 
210 |a Москва  |c Радио и связь  |d 1982 
215 |a 73с.  |c ил.  |d 22 см 
320 |a Библиогр.: с. 69-72 (82 назв.) 
606 |a Пленки тонкие  |x Получение 
606 |a Распылители магнетронные 
686 |a 22  |2 rubbk 
686 |a 29  |2 rugasnti 
700 1 |a Данилин  |b Б. С.  |g Борис Степанович 
701 1 |a Сырчин  |b В. К.  |g Владимир Кимович 
801 0 |b ГПНТБ России  |a RU  |c 20160328