Значок книги

Магнетронные распылительные системы Б. С. Данилин, В. К. Сырчин

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Данилин Б. С.
Другие авторы:	Сырчин В. К.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Москва Радио и связь 1982
Рубрика:	Получение
Ключевые слова:	Пленки тонкие Получение Распылители магнетронные

Схожие документы

Химия и технология неорганических пленок
Автор: Борисенко А. И.
Год издания: (1973)

Вакуумное нанесение тонких пленок
Автор: Данилин Б. С.
Год издания: (1967)

Технология тонких пленок
Автор: Ветошкин В. М.
Год издания: (2013)

Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объеме
Год издания: (1975)

Прямоточные распылительные аппараты в теплоэнергетике
Автор: Галустов В. С.
Год издания: (1989)

Пленки из элементоорганических соединений в радиоэлектронике
Автор: Корзо В. Ф.
Год издания: (1973)

Тонкие пленки антимонида индия
Год издания: (1989)

Получение тонкопленочных элементов микросхем
Автор: Данилин Б. С.
Год издания: (1977)

Двумерная диффузия в многослойных тонкопленочных структурах
Автор: Сысоев Г. И.
Год издания: (1993)

Технология и оборудование для нанесения тонких пленок
Автор: Березин М. И.
Год издания: (1972)

Эпитаксия тонких пленок Германия и Кремния из атомных и молекулярных пучков
Автор: Александров Л. Н.
Год издания: (1974)

Материалы II всесоюзного межотраслевого совещания "Тонкие пленки в электронике"
Год издания: (1991)

Эпитаксиальные пленки соединений AII ВVI
Автор: Калинкин И. П.
Год издания: (1978)

Коагуляция и динамика тонких пленок
Автор: Духин С. С.
Год издания: (1986)

Вакуумная техника в производстве интегральных схем
Автор: Данилин Б. С.
Год издания: (1972)

Тонкопленочная технология
Автор: Берри Р.
Год издания: (1972)

Катодный метод создания пленочных элементов микросхем
Автор: Иванов Р. Д.
Год издания: (1972)

Вычислительные системы
Год издания: (1991)

Введение в эллипсометрию наноразмерных пленок
Автор: Алалыкин А. С.
Год издания: (2011)

Структурные превращения в тонких пленках
Автор: Иевлев В. М.
Год издания: (1982)

Структурные превращения в тонких пленках
Автор: Иевлев В. М.
Год издания: (1988)

Эллипсометрия тонких пленок
Автор: Федотова И. В.
Год издания: (1996)

Диэлектрические пленки в микроэлектронике
Автор: Корзо В. Ф.
Год издания: (1977)

Многокомпонентные вакуумные покрытия
Автор: Костржицкий А. И.
Год издания: (1987)

Получение тонких полимерных пленок из газовой фазы
Автор: Ткачук Б. В.
Год издания: (1977)

Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники
Автор: Гиваргизов Е. И.
Год издания: (1988)

Переходные области эпитаксиальных полупроводниковых пленок
Автор: Александров Л. Н.
Год издания: (1978)

Кристаллизация тонких пленок
Год издания: (1970)

Молекулярно-лучевая эпитаксия и гетероструктуры
Год издания: (1989)

Газофазная микрометаллургия полупроводников
Автор: Дорфман В. Ф.
Год издания: (1974)

Изготовление рабочих элементов покрытий
Автор: Скворцов К. Ф.
Год издания: (1990)

Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок
Автор: Васичев Б. Н.
Год издания: (1977)

Неразрушающий контроль параметров тонких проводящих пленок электромагнитными методами
Автор: Гаврилин В. В.
Год издания: (1991)

Магнетронное напыление
Год издания: (1994)

Массоперенос в тонких пленках
Автор: Колешко В. М.
Год издания: (1980)

Вопросы пленочной электроники
Год издания: (1966)

Технология и оборудование вакуумного напыления
Автор: Никитин М. М.
Год издания: (1992)

Интерференционные покрытия
Автор: Крылова Т. Н.
Год издания: (1973)

Теория устойчивости коллоидов и тонких пленок
Автор: Дерягин Б. В.
Год издания: (1986)

Рентгенодифракционные исследования нанокомпозитных тонких пленок. Программные методы
Год издания: (2009)