Ионное легирование в микроэлектронике А. Ф. Грищенко

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Грищенко А. Ф.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Москва Высшая школа 1985
Рубрика:
Ключевые слова:
LEADER 01060nam0a2200265 i 4500
001 0F6E7933-59B7-4F35-9CEC-DF5E25802B32
010 |d р.0.05 
100 |a 20160514d1985 m y0rusy02 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a j 000#y 
200 1 |a Ионное легирование в микроэлектронике  |e [учебное пособие для средних ПТУ]  |f А. Ф. Грищенко 
210 |a Москва  |c Высшая школа  |d 1985 
215 |a 48с.  |c ил.  |d 20 см 
225 2 |a Профессионально-техническое образование 
320 |a Библиография: с. 47-48 (9 названий) 
606 |a Полупроводники  |x Легирование ионное 
606 |a Микроэлектронные схемы  |x Производство 
686 |a 32  |2 rubbk 
686 |a 50  |2 rugasnti 
700 1 |a Грищенко  |b А. Ф.  |g Анатолий Федорович 
801 0 |b ГПНТБ России  |a RU  |c 20160514