Значок книги

Ионное легирование в микроэлектронике А. Ф. Грищенко

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Грищенко А. Ф.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Москва Высшая школа 1985
Рубрика:	Легирование ионное Производство
Ключевые слова:	Полупроводники Легирование ионное Микроэлектронные схемы Производство

Схожие документы

Импульсный отжиг полупроводниковых материалов
Год издания: (1982)

Ионная имплантация в металлы
Автор: Комаров Ф. Ф.
Год издания: (1990)

Ионная имплантация
Год издания: (1985)

Оборудование ионной имплантации
Год издания: (1988)

Поверхностное легирование металлов и сплавов при лазерном нагреве
Автор: Лахтин Ю. М.
Год издания: (1990)

Ионное травление микроструктур
Автор: Данилин Б. С.
Год издания: (1979)

Ионное гидрирование
Год издания: (1979)

Ионная и лазерная имплантация металлических материалов
Автор: Быковский Ю. А.
Год издания: (1991)

Упрочнение и легирование деталей машин лучом лазера
Автор: Коваленко В. С.
Год издания: (1990)

Легирование стали
Автор: Казачков И. П.
Год издания: (1982)

Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии
Год издания: (1990)

Ионная имплантация и лучевая технология
Год издания: (1988)

Толстопленочная технология в СВЧ микроэлектронике
Автор: Красов В. Г.
Год издания: (1985)

Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия
Автор: Черняев А. В.
Год издания: (1990)

Обработка монокристаллов в микроэлектронике
Автор: Корбань В. И.
Год издания: (1988)

Нейтронно-трансмутационное легирование кремния
Автор: Зайнабидинов С. З.
Год издания: (1983)

Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
Автор: Валиев К. А.
Год издания: (1984)

Экономное легирование стали
Автор: Бабаскин Ю. З.
Год издания: (1987)

Измерения и контроль в микроэлектронике
Год издания: (1984)

Принципиально новые технологии
Год издания: (1990)

Арсенид галлия в микроэлектронике
Год издания: (1988)

Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике
Автор: Румак Н. В.
Год издания: (1990)

Технология обработки поверхностей в микроэлектронике
Автор: Полтавцев Ю. Г.
Год издания: (1990)

Активируемые процессы технологии микроэлектроники
Год издания: (1978)

Активируемые процессы технологии микроэлектроники
Год издания: (1984)

Справочник по технологии микроэлектронных устройств
Автор: Готра З. Ю.
Год издания: (1986)

Активируемые процессы технологии микроэлектроники
Год издания: (1976)

Активируемые процессы технологии микроэлектроники
Год издания: (1975)

Технология производства электронной аппаратуры на микроузлах
Автор: Иванов-Есипович Н. К.
Год издания: (1975)

Физико-химические основы легирования полупроводников
Автор: Глазов В. М.
Год издания: (1967)

Свойства легированных полупроводниковых материалов
Год издания: (1990)

Системы технологического обеспечения качества компонентов микроэлектронной аппаратуры
Автор: Власов В. Е.
Год издания: (1987)

Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств
Автор: Борисенко А. С.
Год издания: (1983)

Технология производства интегральных микросхем
Автор: Малышева И. А.
Год издания: (1991)

Основы технологии тонких и толстых пленок
Автор: Мельниченко А. Т.
Год издания: (1989)

Основы технологии тонких и толстых пленок
Автор: Мельниченко А. Т.
Год издания: (1990)

Технология и конструирование интегральных микросхем
Автор: Березин А. С.
Год издания: (1983)

Технология интегральных схем
Автор: Достанко А. П.
Год издания: (1982)

Физические основы микротехнологии
Автор: Броудай И.
Год издания: (1985)

Фото-, электронно- и рентгенорезисты
Автор: Боков Ю. С.
Год издания: (1982)