Описание: Ионная и лазерная имплантация металлических материалов

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Быковский Ю. А.
Другие авторы:	Неволин В. Н., Фоминский В. Ю.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Москва Энергоатомиздат 1991
Рубрика:	Легирование ионное Легирование лазерное
Ключевые слова:	Металлы Легирование ионное Металлы Легирование лазерное

5-283-03921-8