Ионная и лазерная имплантация металлических материалов Ю. А. Быковский, В. Н. Неволин, В. Ю. Фоминский
Сохранить в:
Автор: | Быковский Ю. А. |
---|---|
Другие авторы: | Неволин В. Н., Фоминский В. Ю. |
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Москва Энергоатомиздат 1991
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Ионная имплантация
Год издания: (1985) -
Ионная имплантация в металлы
Автор: Комаров Ф. Ф.
Год издания: (1990) -
Ионная имплантация и лучевая технология
Год издания: (1988) -
Импульсный отжиг полупроводниковых материалов
Год издания: (1982) -
Оборудование ионной имплантации
Год издания: (1988)