|
|
|
|
| LEADER |
00928nam0a2200265 i 4500 |
| 001 |
141C4E72-83AB-4D38-891F-2D36CB72DB4B |
| 100 |
|
|
|a 20061221d1977 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Диэлектрические пленки в микроэлектронике
|f В. Ф. Корзо, В. Н. Черняев
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Энергия
|d 1977
|
| 215 |
|
|
|a 367с.
|c ил.
|
| 225 |
2 |
|
|a Электронное материаловедение
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 344-365 (389 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Пленки тонкие
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектроника
|
| 686 |
|
|
|a 3
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Корзо
|b В. Ф.
|g Виктор Федорович
|
| 701 |
|
1 |
|a Черняев
|b В. Н.
|g Владимир Николаевич
|
| 801 |
|
0 |
|b НБУР
|a RU
|c 20061221
|
