Диэлектрические пленки в микроэлектронике В. Ф. Корзо, В. Н. Черняев

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Корзо В. Ф.
Другие авторы: Черняев В. Н.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Москва Энергия 1977
Ключевые слова: