|
|
|
|
| LEADER |
01376nam0a2200325 i 4500 |
| 001 |
15F1DD27-B460-4E7B-91E3-0FEBF0A1C353 |
| 010 |
|
|
|a 5-03-000363-0
|d р.4.20
|
| 100 |
|
|
|a 20081224d1990 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Чистые помещения
|f [Ития Хаякава, Тосихару Окадзаки, Сюдзи Фудзии и др.]
|g под ред. И. Хаякавы ; пер. с яп. В. Ю. Акифьева и др. ; под ред. В. Г. Ржанова, В. И. Ушакова
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Мир
|d 1990
|
| 215 |
|
|
|a 454с.
|c ил.
|d 22 см
|
| 300 |
|
|
|a Авт. указаны перед вып. дан.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 439-450. - Предм. указ.: с. 451-452
|
| 606 |
|
|
|a Чистые производственные помещения
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|
| 686 |
|
|
|a 32.85-06
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 702 |
|
0 |
|a Хаякава Ития
|
| 702 |
|
0 |
|a Окадзаки Тосихару
|
| 702 |
|
0 |
|a Фудзии Сюдзи
|
| 702 |
|
1 |
|a Ржанов
|b В. Г.
|4 340
|
| 702 |
|
1 |
|a Ушаков
|b В. И.
|4 340
|
| 702 |
|
1 |
|a Акифьев
|b В. Ю.
|4 730
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20081224
|
