Чистые помещения [Ития Хаякава, Тосихару Окадзаки, Сюдзи Фудзии и др.]
Сохранить в:
Тип документа: | Книга |
---|---|
Язык: | Russian |
Год издания: |
Москва Мир 1990
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Системы технологического обеспечения качества компонентов микроэлектронной аппаратуры
Автор: Власов В. Е.
Год издания: (1987) -
Основы технологии тонких и толстых пленок
Автор: Мельниченко А. Т.
Год издания: (1990) -
Физические основы микротехнологии
Автор: Броудай И.
Год издания: (1985) -
Прогрессивные методы производства микросхем
Автор: Демин В. В.
Год издания: (1973) -
Технологические основы гибридных интегральных схем
Автор: Готра З. Ю.
Год издания: (1977)