Описание: Элионная технология в микро- и наноиндустрии

Сохранить в:

Библиографические подробности
Другие авторы:	Кузнецов Г. Д.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Москва Издательский дом МИСиС 2012
Предметная рубрика:	Ускоренные ионы Внедренные ионы Ускоренная диффузия Наноразмерные гетероструктуры Атомы отдачи Ионная имплантация
Рубрика:	Элионная технология Нанотехнологии
Ключевые слова:	Наноиндустрия Элионная технология Микроэлектроника Нанотехнологии

978-5-87623-556-5