|
|
|
|
| LEADER |
02357nam0a2200373 i 4500 |
| 001 |
18B876E4-4A46-44E9-8F77-5135DE102069 |
| 010 |
|
|
|a 978-5-87623-556-5
|
| 100 |
|
|
|a 20121026d2012 |||y0rusy02
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a aa j 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Элионная технология в микро- и наноиндустрии
|e ускоренные ионы : учебное пособие
|f [Г. Д. Кузнецов и др.]
|g М-во образования и науки РФ, Федер. гос. авт. образоват. учреждение высш. проф. образования "Нац. исследоват. технол. ун-т "МИСиС", Каф. технологии материалов электроники
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Издательский дом МИСиС
|d 2012
|
| 215 |
|
|
|a 127с.
|c ил.
|d 21 см
|
| 225 |
2 |
|
|a Национальный исследовательский технологический университет МИСиС
|v № 2020
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 95
|
| 314 |
|
|
|a Авт. указаны на обороте тит. л.
|
| 606 |
|
|
|a Наноиндустрия
|x Элионная технология
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектроника
|x Нанотехнологии
|
| 610 |
1 |
|
|a Ускоренные ионы
|
| 610 |
1 |
|
|a Внедренные ионы
|
| 610 |
1 |
|
|a Ускоренная диффузия
|
| 610 |
1 |
|
|a Наноразмерные гетероструктуры
|
| 610 |
1 |
|
|a Атомы отдачи
|
| 610 |
1 |
|
|a Ионная имплантация
|
| 686 |
|
|
|a 30.6
|a 32.844.1
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 81
|2 rugasnti
|
| 701 |
|
1 |
|a Кузнецов
|b Г. Д.
|
| 711 |
0 |
2 |
|a "Московский институт стали и сплавов", Национальный исследовательский технологический университет
|b Кафедра технологии материалов электроники
|
| 712 |
0 |
2 |
|a "Московский институт стали и сплавов", Национальный исследовательский технологический университет
|b Кафедра технологии материалов электроники
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20121026
|
