|
|
|
|
| LEADER |
00906nam0a2200229 i 4500 |
| 001 |
1F4179AB-D738-430B-BD09-379CB2F712E9 |
| 010 |
|
|
|d р.1.50
|
| 100 |
|
|
|a 20120217d1984 |||y0rusy02
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
0 |
|
|a Активируемые процессы технологии микроэлектроники
|e межвуз. темат. науч. сб.
|f Таганрог. радиотехн. ин-т им. В. Д. Калмыкова; [редкол.: Д. А. Сеченов (отв. ред.) и др.]
|h Вып. 7
|
| 210 |
|
|
|a Таганрог
|c ТРТИ
|d 1984
|
| 215 |
|
|
|a 153с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы
|x Производство
|
| 686 |
|
|
|a 32
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20120217
|
