Активируемые процессы технологии микроэлектроники Таганрог. радиотехн. ин-т им. В. Д. Калмыкова; [редкол.: Д. А. Сеченов (отв. ред.) и др.]
Сохранить в:
| Тип документа: | Книга |
|---|---|
| Язык: | Russian |
| Год издания: |
Таганрог ТРТИ 1984
|
| Рубрика: | |
| Ключевые слова: |