Описание: Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Глазков И. М.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Москва Советское радио 1975
Рубрика:	Производство Оборудование
Ключевые слова:	Фотошаблоны для интегральных схем Производство Оборудование Микроэлектронные схемы интегральные Производство

Недоступно описание.