|
|
|
|
| LEADER |
01145nam0a2200265 i 4500 |
| 001 |
2BA6631E-A2A3-4D9C-932F-CF92414CB2A8 |
| 010 |
|
|
|d р.0.21
|
| 100 |
|
|
|a 20150824d1975 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии
|f И. М. Глазков
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Советское радио
|d 1975
|
| 215 |
|
|
|a 73с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 225 |
2 |
|
|a Массовая библиотека инженера. Электроника
|
| 320 |
|
|
|a Библиография: с. 69-72 (83 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Фотошаблоны для интегральных схем
|x Производство
|x Оборудование
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|
| 686 |
|
|
|a 32
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Глазков
|b И. М.
|g Илья Михайлович
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20150824
|
