Толстопленочная технология в СВЧ микроэлектронике В. Г. Красов, Г. Б. Петраускас, Ю. С. Чернозубов
Сохранить в:
Автор: | Красов В. Г. |
---|---|
Другие авторы: | Петраускас Г. Б., Чернозубов Ю. С. |
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Москва Радио и связь 1985
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Обработка монокристаллов в микроэлектронике
Автор: Корбань В. И.
Год издания: (1988) -
Ионное легирование в микроэлектронике
Автор: Грищенко А. Ф.
Год издания: (1985) -
Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
Автор: Валиев К. А.
Год издания: (1984) -
Технология обработки поверхностей в микроэлектронике
Автор: Полтавцев Ю. Г.
Год издания: (1990) -
Измерения и контроль в микроэлектронике
Год издания: (1984)