Импульсный отжиг полупроводниковых материалов А. В. Двуреченский [и др.] ; [ответственный редактор А. В. Ржанов]
Сохранить в:
Другие авторы: | Двуреченский А. В., Качурин Г. А., Нидаев Е. В., Смирнов Л. С. |
---|---|
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Москва Наука 1982
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Ионная имплантация в металлы
Автор: Комаров Ф. Ф.
Год издания: (1990) -
Оборудование ионной имплантации
Год издания: (1988) -
Ионная имплантация
Год издания: (1985) -
Ионная и лазерная имплантация металлических материалов
Автор: Быковский Ю. А.
Год издания: (1991) -
Ионное легирование в микроэлектронике
Автор: Грищенко А. Ф.
Год издания: (1985)