Физика субмикронной литографии К. А. Валиев
Сохранить в:
| Автор: | |
|---|---|
| Тип документа: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Год издания: |
Москва Наука 1990
|
| Ключевые слова: |
| LEADER | 00760nam0a2200241 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 5A9485C7-8370-4CBC-8286-849ED4056EBD | ||
| 010 | |a 5-02-014381-2 |d р.7.50 | ||
| 100 | |a 20081114d1990 |||y0rusy02 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a a ||||000zy | ||
| 200 | 1 | |a Физика субмикронной литографии |f К. А. Валиев | |
| 210 | |a Москва |c Наука |d 1990 | ||
| 215 | |a 527, [1]с. |c ил. |d 22 см | ||
| 320 | |a Библиогр. в конце глав | ||
| 606 | |a Микролитография | ||
| 686 | |a 32.844.1-06 |2 rubbk | ||
| 686 | |a 47 |2 rugasnti | ||
| 700 | 1 | |a Валиев |b К. А. |g Камиль Ахметович | |
| 801 | 0 | |b ГПНТБ России |a RU |c 20081114 | |