Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев
Сохранить в:
| Автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Тип документа: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Год издания: |
Москва Энергоатомиздат 1987
|
| Ключевые слова: |
Недоступно
| Шифр: |
Временно недоступно |
|---|---|
| Копировать 1 | Доступно |