|
|
|
|
| LEADER |
00943nam0a2200253 i 4500 |
| 001 |
5C30FD53-8474-4B4D-98CE-2E1E9301B800 |
| 010 |
|
|
|d р.1.40
|
| 100 |
|
|
|a 20160328d1987 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
|f Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Энергоатомиздат
|d 1987
|
| 215 |
|
|
|a 262, [1]с.
|c ил.
|d 22 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 252-260 (195 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Травление плазменное
|
| 686 |
|
|
|a 34
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 53
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Данилин
|b Б. С.
|g Борис Степанович
|
| 701 |
|
1 |
|a Киреев
|b В. Ю.
|g Валерий Юрьевич
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20160328
|
