Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло Л. Н. Александров, Р. В. Бочкова, А. Н. Коган, Н. П. Тихонова
Сохранить в:
| Другие авторы: | , , , |
|---|---|
| Тип документа: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Год издания: |
Новосибирск Наука, Сибирское отделение 1991
|
| Рубрика: | |
| Ключевые слова: |
5-02-029696-1