|
|
|
|
| LEADER |
01180nam0a2200265 i 4500 |
| 001 |
6F349ED2-EDF6-46AA-8CB3-7FAE07A521B9 |
| 010 |
|
|
|a 5-230-04179-X
|d р.450.00
|
| 100 |
|
|
|a 20081225d1992 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников
|e монография
|f В. А. Перевощиков, В. Д. Скупов
|
| 210 |
|
|
|a Нижний Новгород
|c Издательство Нижегород. ун-та
|d 1992
|
| 215 |
|
|
|a 195, [3]с.
|c ил.
|d 21 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 189-196 (134 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Полупроводники
|x Абразивная обработка
|
| 606 |
|
|
|a Полупроводники
|x Химическая обработка
|
| 686 |
|
|
|a 32.852
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Перевощиков
|b В. А.
|g Виктор Александрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Скупов
|b В. Д.
|g Владимир Дмитриевич
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20081225
|
