Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников В. А. Перевощиков, В. Д. Скупов
Сохранить в:
| Автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Тип документа: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Год издания: |
Нижний Новгород Издательство Нижегород. ун-та 1992
|
| Рубрика: | |
| Ключевые слова: |