Технология и оборудование для нанесения тонких пленок М. И. Березин
Сохранить в:
| Автор: | |
|---|---|
| Тип документа: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Год издания: |
Москва Электроника 1972
|
| Ключевые слова: |
| LEADER | 00741nam0a2200229 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 7B6423AC-092B-41BE-BB48-61B198A8A0DA | ||
| 100 | |a 20120918d1972 |||y0rusy02 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y ||||000zy | ||
| 200 | 1 | |a Технология и оборудование для нанесения тонких пленок |f М. И. Березин | |
| 210 | |a Москва |c Электроника |d 1972 | ||
| 215 | |a 43с. | ||
| 225 | 2 | |a Обзоры по электронной технике |v вып. 9 (30) | |
| 606 | |a Тонкие пленки | ||
| 686 | |a 32 |2 rubbk | ||
| 686 | |a 47 |2 rugasnti | ||
| 700 | 1 | |a Березин |b М. И. | |
| 801 | 0 | |b ГПНТБ России |a RU |c 20120918 | |