Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия А. В. Черняев

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Черняев А. В.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Москва Радио и связь 1990
Рубрика:
Ключевые слова:
LEADER 01026nam0a2200253 i 4500
001 8305AD53-5E2B-41DD-AA49-E6E5C46F96AD
010 |a 5-256-00740-8  |d р.1.00 
100 |a 20081114d1990 |||y0rusy02 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a ||||000zy 
200 1 |a Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия  |f А. В. Черняев 
210 |a Москва  |c Радио и связь  |d 1990 
215 |a 85, [2]с.  |c ил.  |d 22 см 
320 |a Библиогр.: с. 83-86 (66 назв.) 
606 |a Галлий, арсенид  |x Легирование ионное 
606 |a Полупроводниковые приборы  |x Производство 
686 |a 32.852  |a 32.844.15  |2 rubbk 
686 |a 47  |2 rugasnti 
700 1 |a Черняев  |b А. В.  |g Александр Владимирович 
801 0 |b ГПНТБ России  |a RU  |c 20081114