Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия А. В. Черняев
Сохранить в:
Автор: | Черняев А. В. |
---|---|
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Москва Радио и связь 1990
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Оборудование ионной имплантации
Год издания: (1988) -
Полевые транзисторы на арсениде галлия
Год издания: (1988) -
Арсенид галлия
Год издания: (1973) -
Арсенид галлия
Год издания: (1972) -
Арсенид галлия
Год издания: (1970)