Marc-запись: Физические основы микротехнологии

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Броудай И.
Другие авторы:	Мерей Д.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian English
Год издания:	Москва Мир 1985
Рубрика:	Производство
Ключевые слова:	Микроэлектронные схемы интегральные Производство


LEADER	01232nam0a2200289 i 4500
001	8ABB102C-5115-4E61-B687-BA3F2EF6198A
010			\|d р.2.60
100			\|a 20121211d1985 m y0rusy02
101	1		\|a rus \|c eng
102			\|a RU
105			\|a a \|\|\|\|000zy
200	1		\|a Физические основы микротехнологии \|f И. Броудай, Д. Мерей \|g пер. с англ. В. А. Володина [и др.] ; под ред. А. В. Шальнова
210			\|a Москва \|c Мир \|d 1985
215			\|a 494с. \|c ил. \|d 22 см
320			\|a Библиогр.: с. 465-483. - Предм. указ.: с. 484-492
454		0	\|1 7001 \|a Brodie Ivor \|1 7011 \|a Muray Julius J. \|1 2001 \|a The physics of microfabrication \|1 2101 \|a New York; London \|d 1982
606			\|a Микроэлектронные схемы интегральные \|x Производство
686			\|a 32 \|2 rubbk
686			\|a 47 \|2 rugasnti
700		1	\|a Броудай \|b И. \|g Ивор
701		1	\|a Мерей \|b Д. \|g Джулиус
702		1	\|a Володин \|b В. А. \|4 730
702		1	\|a Шальнов \|b А. В. \|g Александр Всеволодович \|4 340
801		0	\|b ГПНТБ России \|a RU \|c 20121211