Ионная имплантация под редакцией Дж. К. Хирвонена ; перевод с английского И. Я. Бокшицкого и др. ; под редакцией О. П. Елютина
Сохранить в:
| Тип документа: | Книга |
|---|---|
| Язык: | Russian English |
| Год издания: |
Москва Металлургия 1985
|
| Рубрика: | |
| Ключевые слова: |
| LEADER | 01061nam0a2200265 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | A30F58DB-9E6C-4E4B-B79B-E2B9DE708EF5 | ||
| 100 | |a 20180403d1985 k y0rusy02 ca | ||
| 101 | 1 | |a rus |c eng | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a a zz 000#y | ||
| 200 | 1 | |a Ионная имплантация |e [сборник статей] |f под редакцией Дж. К. Хирвонена ; перевод с английского И. Я. Бокшицкого и др. ; под редакцией О. П. Елютина | |
| 210 | |a Москва |c Металлургия |d 1985 | ||
| 215 | |a 391с. |c ил. |d 22 см | ||
| 320 | |a Библиография в конце статей | ||
| 454 | |1 |a Ion implantation |1 2101 |a New York etc. |d 1980 | ||
| 606 | |a Металлы |x Легирование ионное | ||
| 686 | |a 34 |2 rubbk | ||
| 686 | |a 81 |2 rugasnti | ||
| 702 | 1 | |a Хирвонен |b Дж. К. |4 340 | |
| 702 | 1 | |a Елютин |b О. П. |4 340 | |
| 702 | 1 | |a Бокшицкий |b И. Я. |4 730 | |
| 801 | 0 | |b ГПНТБ России |a RU |c 20180403 | |