Ионная имплантация под редакцией Дж. К. Хирвонена ; перевод с английского И. Я. Бокшицкого и др. ; под редакцией О. П. Елютина
Сохранить в:
Тип документа: | Книга |
---|---|
Язык: | Russian English |
Год издания: |
Москва Металлургия 1985
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Ионная имплантация в металлы
Автор: Комаров Ф. Ф.
Год издания: (1990) -
Ионная и лазерная имплантация металлических материалов
Автор: Быковский Ю. А.
Год издания: (1991) -
Ионная имплантация и лучевая технология
Год издания: (1988) -
Оборудование ионной имплантации
Год издания: (1988) -
Импульсный отжиг полупроводниковых материалов
Год издания: (1982)