Многокомпонентные вакуумные покрытия А. И. Костржицкий, О. В. Лебединский
Сохранить в:
Автор: | Костржицкий А. И. |
---|---|
Другие авторы: | Лебединский О. В. |
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Москва Машиностроение 1987
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объеме
Год издания: (1975) -
Вакуумное нанесение тонких пленок
Автор: Данилин Б. С.
Год издания: (1967) -
Получение тонкопленочных элементов микросхем
Автор: Данилин Б. С.
Год издания: (1977) -
Вакуумная техника в производстве интегральных схем
Автор: Данилин Б. С.
Год издания: (1972) -
Изготовление рабочих элементов покрытий
Автор: Скворцов К. Ф.
Год издания: (1990)