Контроль в технологии микроэлектроники В. М. Колешко, П. П. Гойденко, Л. Д. Буйко

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Колешко В. М.
Другие авторы: Гойденко П. П., Буйко Л. Д.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Минск Наука и техника 1979
Рубрика:
Ключевые слова:
LEADER 01380nam0a2200301 i 4500
001 AA8DD6D3-B2F9-4CB4-9D26-8A797F284172
100 |a 20190927d1979 k y0rusy02 ca 
101 0 |a rus 
102 |a BY 
105 |a a z 000#y 
200 1 |a Контроль в технологии микроэлектроники  |f В. М. Колешко, П. П. Гойденко, Л. Д. Буйко  |g АН БССР, Институт электроники 
210 |a Минск  |c Наука и техника  |d 1979 
215 |a 312с.  |c ил.  |d 22 см 
320 |a Библиография: с. 293-310 (736 названий) 
606 |a Микроэлектронные схемы интегральные большие  |x Производство  |x Технический контроль 
686 |a 32  |2 rubbk 
686 |a 81  |2 rugasnti 
700 1 |a Колешко  |b В. М.  |g Владимир Михайлович 
701 1 |a Гойденко  |b П. П.  |g Петр Петрович 
701 1 |a Буйко  |b Л. Д.  |g Лев Дмитриевич 
711 0 2 |a Академия наук Белорусской ССР 
711 0 2 |a Институт электроники 
712 0 2 |a Академия наук Белорусской ССР 
712 0 2 |a Институт электроники 
801 0 |b ГПНТБ России  |a RU  |c 20190927