|
|
|
|
| LEADER |
00865nam0a2200229 i 4500 |
| 001 |
ABAEA176-DC6C-46E7-9E45-DAAF8DEEEAF4 |
| 100 |
|
|
|a 20011219d1987 k y0rusy
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Низкотемпературное легирование полупроводников и многослойных структур микроэлектроники
|e тезисы докл. 1 Всесоюз. постоянного семинара
|f УдГУ им. 50-летия СССР и др.
|
| 210 |
|
|
|a Устинов
|d 1987
|
| 215 |
|
|
|a 124с.
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектроника
|
| 686 |
|
|
|a 3
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 711 |
0 |
2 |
|a УдГУ им. 50-летия СССР
|
| 712 |
0 |
2 |
|a УдГУ им. 50-летия СССР
|
| 801 |
|
0 |
|b НБУР
|a RU
|c 20011219
|
