Описание: Микроструктурирование тонких пленок

Сохранить в:

Библиографические подробности
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Москва Наука 1991
Рубрика:	Производство
Ключевые слова:	Микролитография Микроэлектронные схемы интегральные большие Производство

5-02-006817-9