|
|
|
|
| LEADER |
01071nam0a2200265 i 4500 |
| 001 |
AC370098-5A4A-4F5D-973F-9EDBB581E669 |
| 010 |
|
|
|a 5-02-006817-9
|d р.6.50
|
| 100 |
|
|
|a 20081111d1991 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Микроструктурирование тонких пленок
|f отв. ред. А. А. Орликовский
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Наука
|d 1991
|
| 215 |
|
|
|a 110, [2]с.
|c ил.
|d 24 см
|
| 225 |
2 |
|
|a Тр. ФТИАН
|f РАН, физ.-технол. ин-т ; гл. ред. К. А. Валиев
|v т. 2
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 606 |
|
|
|a Микролитография
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные большие
|x Производство
|
| 686 |
|
|
|a 22.379.2
|a 32.844.1
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 29
|2 rugasnti
|
| 702 |
|
1 |
|a Орликовский
|b А. А.
|g Александр Александрович
|4 340
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20081111
|
