Введение в эллипсометрию наноразмерных пленок А. С. Алалыкин, Е. А. Зайцева, П. Н. Крылов

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Алалыкин А. С.
Другие авторы: Зайцева Е. А., Крылов П. Н.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Ижевск Удмуртский университет 2011
Предметная рубрика:
Рубрика:
Ключевые слова:
LEADER 01334nam0a2200289 i 4500
001 ACCAE898-F203-4EDB-BB30-E755257C8839
100 |a 20130523d2011 |||y0rusy02 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a y j 000#y 
200 1 |a Введение в эллипсометрию наноразмерных пленок  |e учебно-методическое пособие  |f А. С. Алалыкин, Е. А. Зайцева, П. Н. Крылов  |g М-во образования и науки РФ, ФГБОУ ВПО "Удмурт. гос. ун-т" 
210 |a Ижевск  |c Удмуртский университет  |d 2011 
215 |a 69, [2]с.  |d 20 см 
320 |a Библиогр.: с. 69-70 (18 назв.) 
606 |a Тонкие пленки  |x Эллипсометрия 
610 1 |a Электромагнитные волны 
610 1 |a Матричный метод расчета 
610 1 |a Поляризационные углы 
686 |a 22.343  |2 rubbk 
686 |a 29  |2 rugasnti 
700 1 |a Алалыкин  |b А. С.  |g Александр Сергеевич 
701 1 |a Зайцева  |b Е. А.  |g Евгения Алексеевна 
701 1 |a Крылов  |b П. Н.  |g Петр Николаевич 
801 0 |b ГПНТБ России  |a RU  |c 20130523