|
|
|
|
| LEADER |
01076nam0a2200253 i 4500 |
| 001 |
B41CBBE6-6097-4C9A-ACA6-28584B8847B3 |
| 010 |
|
|
|d р.1.00
|
| 100 |
|
|
|a 20121025d1983 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств
|e [учеб. для сред. спец. учеб. заведений]
|f А. С. Борисенко, Н. И. Бавыкин
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Машиностроение
|d 1983
|
| 215 |
|
|
|a 319с.
|c ил.
|d 22 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 318-319 (37 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|
| 686 |
|
|
|a 32
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Борисенко
|b А. С.
|g Александр Сергеевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Бавыкин
|b Н. И.
|g Николай Иванович
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20121025
|
