|
|
|
|
| LEADER |
00957nam0a2200241 i 4500 |
| 001 |
B81BA20B-FFFA-4D51-9488-2F27DA50A61A |
| 010 |
|
|
|d р.0.75
|
| 100 |
|
|
|a 20081114d1989 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Основы технологии тонких и толстых пленок
|e 23.03 : учеб. пособие
|f А. Т. Мельниченко
|g Ленингр. электротехн. ин-т связи им. М. А. Бонч-Бруевича
|
| 210 |
|
|
|a Ленинград
|c ЛЭИС
|d 1989
|
| 215 |
|
|
|a 84, [2]с.
|c ил.
|d 21 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 85 (12 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|
| 686 |
|
|
|a 22.36
|a 32.844.15
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 29
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Мельниченко
|b А. Т.
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20081114
|
