Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок Б. С. Данилин
Сохранить в:
| Автор: | |
|---|---|
| Тип документа: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Год издания: |
Москва Энергоатомиздат 1989
|
| Рубрика: | |
| Ключевые слова: |
Недоступно
| Шифр: |
Временно недоступно |
|---|---|
| Копировать 1 | Доступно |