Описание: Основы технологии тонких и толстых пленок

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Мельниченко А. Т.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Ленинград ЛЭИС 1990
Рубрика:	Производство
Ключевые слова:	Микроэлектронные схемы интегральные Производство

Недоступно описание.