Основы технологии тонких и толстых пленок А. Т. Мельниченко ; Ленингр. электротехн. ин-т связи им. М. А. Бонч-Бруевича
Сохранить в:
Автор: | Мельниченко А. Т. |
---|---|
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Ленинград ЛЭИС 1990
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Основы технологии тонких и толстых пленок
Автор: Мельниченко А. Т.
Год издания: (1989) -
Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники
Автор: Джоветт Ч. Е.
Год издания: (1980) -
Микроструктурирование тонких пленок
Год издания: (1991) -
Интегральные схемы. Основы проектирования и технологии
Год издания: (1970) -
Физические основы микротехнологии
Автор: Броудай И.
Год издания: (1985)